V polprevodniški, mikroelektronski in farmacevtski industriji so zahteve glede čistosti za procesne kemikalije izredno stroge in celo onesnaženje s kovinskimi ioni v sledovih vodi do zavrženja izdelka ali poslabšanja kakovosti. Običajni industrijski-grelniki PFA ne morejo izpolniti tako visokih zahtev glede čistoče, zato so se elektronski-grelniki PFA visoke{2}}čistosti pojavili kot posebna kategorija. Ti grelniki uporabljajo smolo PFA ultra-visoke čistosti in so izdelani v strogih pogojih čiste proizvodnje, kar zagotavlja ničelno obarjanje ionov med uporabo in postaja standardna oprema za ogrevanje za visokokakovostne čiste procese-.
Glavna razlika med grelniki PFA visoke-čistosti in običajnimi industrijskimi izdelki-je v čistosti surovin. Elektronska -razred PFA smola uporablja posebne postopke polimerizacije in čiščenja z izjemno nizko vsebnostjo kovinskih nečistoč, fluoridnih ionov in organskih ostankov. Obarjanje kovinskih ionov visoko-čistega PFA po dolgotrajni-potopitvi je običajno na ravni ppt (delcev na trilijon), medtem ko je običajna industrijska PFA lahko na ravni ppm, razlika je milijonkrat. Ta značilnost ultra-nizke količine padavin zagotavlja, da proces segrevanja ne bo onesnažil visoko{9}}čistih kemičnih raztopin, kar izpolnjuje stroge zahteve glede čistoče pri obdelavi rezin.
V proizvodnji polprevodnikov se grelniki PFA visoke-čistosti široko uporabljajo v različnih mokrih procesnih povezavah. Stroji za čiščenje rezin morajo segrevati različne kemične čistilne raztopine, kot so SC1, SC2, žveplova kislina, vodikov peroksid itd. Grelniki PFA visoke-čistosti se lahko neposredno potopijo in segrejejo, ne da bi pri tem povzročili kakršno koli kovinsko onesnaženje. Pri postopkih odstranjevanja fotorezista in segrevanja raztopine za jedkanje PFA visoke-čistosti kaže tudi odlično odpornost proti koroziji in čistočo. Poleg tega so grelniki PFA visoke -čistosti tudi standardne konfiguracije v farmacevtski proizvodnji, laboratorijskih analizah in drugih primerih, ki zahtevajo segrevanje ultra{10}}čiste raztopine.
Proizvodni proces visoko{0}}čistih PFA grelnikov ima veliko strožji nadzor kot običajni industrijski izdelki. Celoten proizvodni proces mora biti dokončan v čisti delavnici razreda 100 ali višje, da se prepreči onesnaženje okolja z delci. Vsa orodja in napeljave morajo biti izdelani iz -fluoroplastičnih materialov visoke čistosti in ne smejo biti v stiku s kovino, ki bi lahko povzročila onesnaženje. Po proizvodnji morajo izdelki iti skozi več-kanalno čiščenje z ultra-čisto vodo in čisto embalažo, da se zagotovi, da so izdelki, dostavljeni strankam, v čistem stanju in jih je mogoče neposredno uporabiti.
Preverjanje kakovosti visoko{0}}čistih PFA grelnikov zahteva tudi posebne standarde testiranja. Poleg običajnega zaznavanja luknjic in zaznavanja debeline je treba izvesti tudi test ionske precipitacije, test TOC (skupni organski ogljik) in test števila delcev, da preverimo stopnjo čistosti. Samo izdelki, ki so prestali te stroge teste, se lahko uporabljajo v čistih-postopkih vrhunskega razreda. Seveda je tudi cena grelnikov PFA visoke -čistosti znatno višja od cene industrijskih-izdelkov, običajno 2- do 3-krat večja od običajnih grelnikov PFA.
Tabela 1 Primerjava industrijskih-razredov in elektronskih-grelnikov PFA
表格
| Indikator uspešnosti | Industrijski{0}}PFA | Elektronski-razred visoke-PFA |
|---|---|---|
| Čistost smole | Standardni industrijski razred | Ultra{0}}prečiščen polprevodnik |
| Obarjanje kovinskih ionov | raven ppm | ppt ravni |
| Proizvodno okolje | Navadna delavnica | Razred 100+ čista soba |
| Nadzor delcev | Ni posebnih zahtev | Stroga kontrola števila delcev |
| Tipična uporaba | Galvanizacija, kemična površinska obdelava | Čiščenje polprevodniških rezin, farmacevtsko |
| Relativni stroški | 1× osnovna črta | 2–3× |
Z ultra-nizkim obarjanjem ionov in visoko čistostjo so grelniki PFA visoke-čistosti postali nepogrešljiva ključna oprema v industriji polprevodnikov in vrhunski-proizvodni industriji.
