Polprevodniška tovarna je potrebovala potopni grelec iz PTFE po meri za rezervoar za mokro namizno obdelavo. Grelnik je bil zasnovan pravilno za toplotno obremenitev, kemijo in prostorske omejitve. Postavljen je bil in uspešno deloval tri mesece. Nato je oddelek za kakovost tovarne zahteval dokumentacijo za revizijo strank. Dobavitelj grelnika ni mogel zagotoviti sledljivosti materiala, certificiranja površinske obdelave ali podatkov o izvlečkih. Grelnik je bil izločen iz obratovanja do pridobitve dokumentacije.
Polprevodniške tovarne imajo zahteve glede dokumentacije in certificiranja, ki presegajo električne in toplotne specifikacije grelnika. Zahteve zajemajo čistost materiala, površinsko obdelavo, ekstrakcijo in sledljivost. Potopni grelnik PTFE po meri za polprevodniško storitev mora izpolnjevati te zahteve, dobavitelj pa mora predložiti dokumentacijo, ki to dokazuje.
Sledljivost in čistost materiala
PTFE, uporabljen v polprevodniškem grelniku, mora biti sledljiv do serije smole. Dobavitelj mora predložiti potrdilo o analizi (CoA) za polimer, ki prikazuje številko serije, proizvajalca in ključne lastnosti-molekularno maso, kristaliničnost in ravni nečistoč.
PTFE mora biti čisti polimer brez polnila. Polnjeni PTFE-ki vsebuje steklo, ogljik ali druge dodatke-ni sprejemljiv, ker lahko polnila prodrejo v procesno kopel. Polimer mora izpolnjevati zahteve glede čistosti postopka, običajno z ekstrahiranimi ioni pod določenimi mejami.
| Dokumentacija | Kaj potrjuje | Tipična zahteva |
|---|---|---|
| Smola CoA | Sledljivost lota, lastnosti | Molekulska masa, stopnje nečistoč |
| Certificiranje materiala | Virgin PTFE, brez polnil | 100% čisti PTFE |
| Poročilo o izvlečkih | Ionska kontaminacija | <50 ppb per ion |
| Poročilo o zaključku površine | Ra vrednost | <0.4 μm Ra |
| Merski pregled | Skladnost s toleranco | Na risbo |
Dokumentacija o sledljivosti materiala in čistosti za polprevodniške PTFE grelnike
Površinska obdelava in čistoča
Polprevodniški procesi zahtevajo gladke, čiste površine, ki ne ujamejo delcev ali sproščajo onesnaževalcev. PTFE plašč mora imeti površinsko obdelavo 0,4 μm Ra ali boljšo. Groba površina lahko vsebuje delce in spodbuja nastajanje biofilma.
Grelec mora biti pred montažo očiščen in pasiviran. Postopek čiščenja odstrani proizvodne ostanke, olja in delce. Postopek pasiviranja zagotavlja, da je površina kemično inertna in ne sprošča onesnaževalcev v procesno kopel.
Poročilo o končni obdelavi površine in potrdilo o čiščenju dokumentirata čistočo grelnika. Poročilo mora vsebovati merilno metodo, lokacije vzorčenja in rezultate.
Preskušanje ekstrakcij in izlužkov
Testiranje ekstrakcij meri sproščanje ionov, organskih snovi in delcev iz grelnika v procesno tekočino. Preskus vključuje potopitev grelnika v ultračisto vodo ali reprezentativno procesno tekočino pri delovni temperaturi za določeno obdobje, nato pa analizo tekočine za onesnaževala.
Meje ekstrahiranih snovi so odvisne od postopka. Za kritične polprevodniške postopke so lahko omejitve v območju nizkih delov-na-milijardo za kovine in organske snovi. Poročilo o preskusu dokumentira rezultate in potrjuje, da grelec izpolnjuje zahteve procesa.
| Test | Kaj meri | Tipična meja | Metoda |
|---|---|---|---|
| Kovinski izvlečki | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP-MS |
| Organski ekstrakti | TOC, specifične organske snovi | <100 ppb TOC | HPLC, GC-MS |
| Sproščanje delcev | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | Števec tekočih delcev |
| Anionski ekstrakti | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | Ionska kromatografija |
Zahteve za testiranje izvlečkov za polprevodniške PTFE grelnike
Električni in varnostni certifikati
Grelec mora izpolnjevati električne varnostne zahteve tovarne. V Severni Ameriki to običajno pomeni kotacijo UL ali ETL. V Evropi pomeni oznako CE s skladnostjo z veljavnimi direktivami.
Ohišje terminala mora ustrezati ustrezni stopnji zaščite pred vdorom-običajno IP66 ali NEMA 4X. Grelnik mora biti združljiv s sistemom za zaščito pred ozemljitvijo.
| Certificiranje | Regija | Kaj zajema | Tipična zahteva |
|---|---|---|---|
| UL 499 | Severna Amerika | Električna varnost | Naveden ali priznan |
| CE | Evropi | Varnost, EMC | Označevanje in deklaracija |
| IP66 | Mednarodni | Zaščita pred vdorom | Terminalsko ohišje |
| ATEX | Evropi | Odporno{0}}na eksplozijo | Če je vnetljiva atmosfera |
| SEMI S2 | Polprevodnik | Varnostne smernice | Fab zahteva |
Električni in varnostni certifikati za polprevodniške PTFE grelnike
Paket sledljivosti in dokumentacije
Paket dokumentacije za polprevodniški grelec vključuje certifikate materiala, poročilo o končni obdelavi površine, poročilo o preskusu izvlečnih delov, električne certifikate in poročilo o pregledu dimenzij. Paket mora biti sledljiv do določene serijske številke grelnika.
Paket pregleda oddelek za kakovost tovarne, preden grelec sprejme. Nepopolna dokumentacija lahko povzroči zamudo pri namestitvi ali povzroči zavrnitev.
Ko standardni grelniki ne morejo izpolniti zahtev glede dokumentacije
Standardni potopni grelniki iz PTFE niso dobavljeni s paketom dokumentacije, ki je potreben za servisiranje polprevodnikov. Potopni grelnik PTFE po meri, zasnovan za storitve polprevodnikov, vključuje zahtevano dokumentacijo, testiranje in sledljivost. Postopek specifikacije zahteva kemijo postopka, zahteve glede čistosti, specifikacijo končne obdelave površine, omejitve ekstrahiranih snovi in električne certifikate.
